VIONiC™系列光柵系統(tǒng)

VIONiC光柵系列集成了雷尼紹*的光學(xué)濾波系統(tǒng)設(shè)計與細(xì)分技術(shù)。這是一款高性能數(shù)字一體化增量式光柵，其優(yōu)點包括無需額外使用適配器或單獨的接口。VIONiC適用于多種要求嚴(yán)苛的應(yīng)用場合，包括要求具備動態(tài)運動控制性能、超高精度和更快速度的應(yīng)用。

VIONiC讀數(shù)頭系列具有兩種型號，分別為VIONiC和

VIONiCplus™，二者均可提供多種配置，旨在優(yōu)化您的運動控制系統(tǒng)的速度和性能。由于安裝公差大并且可自動校準(zhǔn)，因此兩種型號的安裝均快捷簡單。

VIONiC的標(biāo)準(zhǔn)型號采用了動態(tài)信號處理技術(shù)，可提高信號穩(wěn)定性，其典型電子細(xì)分誤差(SDE) <±30 nm，分辨率達(dá)20 nm。

VIONiCplus系統(tǒng)則具備更加優(yōu)異的性能，其可實現(xiàn)<±10 nm的極低電子細(xì)分誤差和2.5 nm的分辨率，有助于在20 μm柵距增量式光柵系統(tǒng)中實現(xiàn)的運動控制性能。

VIONiC™系列光柵系統(tǒng)特點

• 緊湊型讀數(shù)頭(35 x 13.5 x 10 mm)

• 與配有IN-TRAC™自動調(diào)相光學(xué)參考零位（基準(zhǔn)）的直線柵尺和圓光柵兼容

• 優(yōu)化的第三代光學(xué)濾波系統(tǒng)實現(xiàn)了更低的噪聲（抖動）

• 動態(tài)信號處理技術(shù)可確保典型值<±30 nm (VIONiC) 或低至<±10 nm (VIONiCplus)的超低電子細(xì)分誤差

• 自動增益控制、自動平衡控制和自動偏置控制確保了一致的信號強度和長期可靠性

• 內(nèi)置LED安裝指示燈令安裝更加輕松

• 最大速度可達(dá)12 m/s（分辨率為0.1 μm時，速度可達(dá)3.63 m/s）

• 直接從讀數(shù)頭輸出數(shù)字信號：VIONiC分辨率從5 μm至20 nm   VIONiCplus分辨率從0.1 μm至2.5 nm

• 內(nèi)置雙限位（僅限直線光柵）

• 工作溫度最高70 °C

• 可選的高級診斷工具(ADT) 可優(yōu)化安裝并協(xié)助系統(tǒng)查錯

VIONiC™系列光柵系統(tǒng)特性

•  需要更高的速度？當(dāng)達(dá)到高時鐘速度（50 MHz計時器速度）時，VIONiC讀數(shù)頭能夠在最大工作速度下以高分辨率輸出最小分離時間為25.3 ns的正交邊緣。

•  需要更高的精度？VIONiC讀數(shù)頭與各種直線柵尺和圓光柵兼容，從熱膨脹系數(shù)低至±1 μm/m的直線柵尺，到整體安裝精度達(dá)±1角秒的圓光柵。

•  需要更優(yōu)異的運動控制性能？VIONiCplus采用我們最新的細(xì)分算法和信號處理技術(shù)，可實現(xiàn) <±10 nm的極低電子細(xì)分誤差。低電子細(xì)分誤差(SDE) 等同于低速度紋波，這對于掃描測量系統(tǒng)等恒定速度應(yīng)用來說十分重要。VIONiCplus的智能細(xì)分芯片可實現(xiàn)8 000 x細(xì)分值，相當(dāng)于讀數(shù)頭輸出分辨率直接達(dá)到2.5 nm。該系統(tǒng)適合在精度和重復(fù)性極為重要的應(yīng)用場合使用。

VIONiC和VIONiCplus直線光柵讀數(shù)頭的典型電子細(xì)分誤差圖

VIONiC™系列光柵系統(tǒng)讀數(shù)頭

• VIONiC讀數(shù)頭：20 μm高性能數(shù)字一體化增量式開放光柵。它的分辨率低至20 nm，具有多種配置，可優(yōu)化運動控制系統(tǒng)的速度。VIONiC的動態(tài)信號處理功能可提高信號穩(wěn)定性，且電子細(xì)分誤差通常小于±30 nm，從而有助于實現(xiàn)高的運動控制性能。例如，VIONiC與不銹鋼RTLC20柵尺組合后，可用于各種直線運動控制應(yīng)用場合，兼具鋼帶柵尺的便利性和高的堅固性。

• VIONiCplus讀數(shù)頭：除了具備VIONiC讀數(shù)頭的所有優(yōu)點之外，VIONiCplus讀數(shù)頭的分辨率更可達(dá)到2.5 nm，同時具有同類產(chǎn)品中低的電子細(xì)分誤差(<±10 nm)，適合各種要求嚴(yán)苛的應(yīng)用場合。VIONiCplus可與具有高精度且“零"熱膨脹的RELM直線柵尺配合使用，提供高水平的測量性能。

VIONiC™系列光柵系統(tǒng)兼容型柵尺

• 不銹鋼鋼帶柵尺 (RTLC20)：可直接安裝在創(chuàng)新型FASTRACK™導(dǎo)軌系統(tǒng)內(nèi)的RTLC20柵尺，以及直接安裝至基體的背面自帶不干膠帶的RTLC20-S鋼帶柵尺。

-精度：±5μm/m（包括斜度和線性精度）

-線性精度：可通過兩點誤差修正實現(xiàn)±2.5μm/m

-最大長度：10m

-熱膨脹系數(shù)：20 °C時為10.1±0.2μm/m/°C

• 不銹鋼直線柵尺(RSLM)：防震的不銹鋼柵尺，提供比玻璃柵尺更高的精度和更長的長度。

-精度：在完整的5米長度上可實現(xiàn)±4 μm的總體精度

-最大長度：5 m

-熱膨脹系數(shù)：20 °C時為10.1 ±0.2 μm/m/°C

• ZeroMet直線柵尺 (RELM)：堅固的低膨脹鎳合金柵尺。

-精度：在1米長度內(nèi)可實現(xiàn)±1μm的總體精度

-最大長度：1.5 m

-熱膨脹系數(shù)：20 °C時為0.75 ±0.35 μm/m/°C

• 不銹鋼圓光柵(RESM)：具有錐面安裝方式的圓光柵，大通孔設(shè)計使其更便于安裝。

-刻劃精度：±0.38角秒（直徑550mmRESM圓光柵）

-圓光柵直徑：52mm至550mm

-熱膨脹系數(shù)：20°C時為15.5±0.5μm/m/°C

• 不銹鋼圓光柵 (REXM)：超高精度圓光柵。

-總體安裝精度：使用兩個VIONiC讀數(shù)頭和一個DSi，可輕松消除偏心以實現(xiàn)高達(dá)±1角秒的總體安裝精度

-圓光柵直徑：52mm至417mm

-熱膨脹系數(shù)：20°C時為15.5±0.5μm/m/°C

VIONiC™系列光柵系統(tǒng)附件

輕松查錯和維護(hù)

可選的高級診斷工具(ADT)（訂貨號：A-6195-0100）提供來自VIONiC光柵的全面實時反饋。

該工具可用于要求苛刻的安裝和查錯。

它提供：

• 遠(yuǎn)程校準(zhǔn)功能

• 在整個軸長上進(jìn)行信號優(yōu)化

• 讀數(shù)頭俯仰指示

• 限位和參考零位指示

• DRO和利薩如圖形輸出

使用建議的USB電纜(A-9572-0098)可將ADT直接連接至計算機。

VIONiC™系列光柵系統(tǒng)通用規(guī)格

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VIONiC™系列光柵系統(tǒng)讀數(shù)頭訂貨號

V2 B B X30D 50 B

V2——系列   V2 – 20 μm VIONiC   S2 – 20 μm VIONiCplus

B———讀數(shù)頭類型  B – 標(biāo)準(zhǔn)（直線光柵和圓光柵 ∅>135 mm） C – 圓光柵 ∅<135 mm

B———柵尺類型兼容性

B – RSLM/RELM

C – RTLC20

J – RESM/REXM ∅>135 mm

K – RESM/REXM ∅60 mm至 ∅135 mm

L – RESM/REXM ∅<60 mm

M – RGSZ圓弧 ∅>135 mm

N – RGSZ圓弧∅≤135 mm

X———分辨率

30———電纜長度

02 – 0.2 m

05 – 0.5 m

10 – 1 m

15 – 1.5 m

20 – 2 m

30 – 3 m

D———電纜端接

A – 9針D型（僅三態(tài)警告，無限位）

D – 15針D型（標(biāo)準(zhǔn)輸出針腳）

H – 15針D型（可選輸出針腳）

X – 12針圓形插頭

50———時鐘輸出選項  50, 40, 25, 20, 12, 10, 08, 06, 04, 01 (MHz)

B———警告格式和參考零位選項

A – 線驅(qū)警告，用戶可選的參考零位

B – 線驅(qū)警告，所有參考零位均為輸出

E – 三態(tài)警告，用戶可選的參考零位

F – 三態(tài)警告，所有參考零位均為輸出

VIONiC™系列光柵系統(tǒng)兼容產(chǎn)品